德国HEIDENHAIN直线光栅尺LIP6000系列行业标准

德国海德汉HEIDENHAIN直线光栅尺LIP6000系列光学扫描的直线光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。对于大长度的光栅尺，用钢带作为光栅尺基体。海德汉公司用以下特别开发的光刻工艺制造精密光栅。抗污染的镀金层金属栅绝对式测量是指光栅尺或编码器在通电时立即提供位置值并随时供后续电子电路读取。无需移动轴执行参考点回零操作。绝对位置信息由一系列绝对码编排的光栅读取。单独的增量刻轨信号通过细分生成位置值，同时用于生成可选的增量信号线，典型栅距：40 μm玻璃基体的超硬铬栅线（典型栅距：20 μm）或玻璃基体的三维铬线格栅典型栅距8 μm相位光栅,光学三维平面格栅，抗污能力,典型栅距不超过相位光栅光学三维平面格栅，它是最终检测中确定的并标注在检定记录图中。

对于封闭式直线光栅尺，该数据体现含读数头在内的光栅尺精度，不要自行拆开光栅尺传感器，更不能任意改动主栅尺与副栅尺的相对间距，否则一方面可能破坏光栅尺传感器的精度；另一方面还可能造成主栅尺与副栅尺的相对摩擦，损坏铬层也就损坏了栅线，以而造成光栅尺报废。应注意防止油污及水污染光栅尺面，以免破坏光栅尺线条纹分布，引起测量误差。光栅尺传感器应尽量避免在有严重腐蚀作用的环境中工作，以免腐蚀光栅铬层及光栅尺表面，破坏光栅尺质量也即系统精度。单信号周期内细分误差单信号周期内的细分误差取决于光栅尺的信号周期、光栅质量和扫描质量。

在任何测量位置，该误差通常在信号周期的± 2%至± 0.5 %范围内信号周期越小，单信号周期内的细分误差也越小。这对定位运动精度和慢速运动以及轴运动期间的速度控制非常重要，因此决定表面质量和被加工件的质量。超高反光性能；典型栅距：不超过2 μm除极小栅距外，由该工艺刻制的光栅拥有优异的边缘清晰度和均匀性。结合光电扫描法，边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键。母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线机制造。

技术参数：

光栅周期    8.000 µm热系数

线性膨胀    0·10-6K-1

准确度等级±1.0微米

测量长度20 毫米

标记位置ML/2——在测量长度的中间

紧固类型夹紧

厚度 2.90 毫米

宽度 15.00 毫米